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HMECシリーズは、靜電チャック専用に開(kāi)発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號(hào)により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。
出 力 |
モデル名 |
||
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%rms] |
|
±1 |
10 |
0.1 |
HMEC-1R10 |
±1.5 |
6.6 |
0.1 |
HMEC-1.5R6.6 |
±2 |
5 |
0.1 |
HMEC-2R5 |
±3 |
3.3 |
0.1 |
HMEC-3R3.3 |
±5 |
2 |
0.1 |
HMEC-5R2 |
±10 |
1 |
0.1 |
HMEC-10R1 |
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